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中证网讯（记者 孟培嘉）12月23日，微导纳米登陆上交所科创板，截至上午收盘上涨15.2%。本次上市，公司拟募集资金10亿元，投向基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级、集成电路高端装备产业化应用中心三个项目并补充流动资金。

招股书显示，微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。2019年度至2021年度，公司分别实现营业收入2.16亿元、3.13亿元、4.28亿元，年均复合增长率40.81%。

研发方面，2019年-2021年微导纳米研发费用分别为3109.05万元、5373.47万元、9704万元，呈持续上升趋势。截至目前，公司已取得95项国家授权专利，其中发明专利13项、实用新型专利73项、外观设计专利9项，并拥有软件著作权19项。

此外，微导纳米还荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业（制造类）等荣誉称号，并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心等。

微导纳米表示，公司未来将继续深化开发薄膜沉积技术在下一代光伏电池、半导体各细分应用（集成电路、先进存储等）、柔性电子等应用领域的技术和产品储备，并已在下游行业多家知名公司进行了产品验证。